新型纳米结构的静电场诱导成形原理与工艺研究

项目名称： 新型纳米结构的静电场诱导成形原理与工艺研究

项目编号： No.90923036

项目类型： 专项基金项目

立项/批准年度： 2010

项目学科： 金属学与金属工艺

项目作者： 鱼卫星

作者单位： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

项目金额： 50万元

中文摘要： 本申请提出进行纳米结构的静电诱导成形原理与工艺研究，旨在建立薄膜材料在静电力、表面张力、重力和范德华力等多场力作用下形成微纳结构的理论模型；研究成形工艺中模板制作、表面处理和定位控制等关键技术及参数的优化。重点探索三维曲面基底纳米结构和中空纳米结构的静电诱导成形原理和新方法。本申请的实施将为纳米制造领域增添新原理和新方法，为今后进一步研制实用的新型纳米结构、器件或系统奠定良好的基础。

中文关键词： 静电诱导；多场力耦合；微纳加工；毛细力光刻；

英文摘要：

英文关键词： Electrostatic induced；multi-field forces coupling；micro/nanofabrication；capillary force lithography；