激光调控软磁薄膜高频磁性研究

项目名称： 激光调控软磁薄膜高频磁性研究

项目编号： No.51171075

项目类型： 面上项目

立项/批准年度： 2012

项目学科： 一般工业技术

项目作者： 刘青芳

作者单位： 兰州大学

项目金额： 55万元

中文摘要： 本项目以FeCo系、FeNi等系列软磁薄膜为研究对象，通过激光刻蚀来调控薄膜的面内各向异性，从而达到调控其高频磁性的目的。项目拟通过离子束溅射、磁控溅射、电化学沉积等技术在Si衬底上制备金属合金系列软磁薄膜，结合激光刻蚀技术在薄膜表面刻出不同形状、不同排布的几何图形，调整形状各向异性及图形间偶极相互作用获得不同面内磁各向异性的软磁薄膜；通过宏观磁性测量和微磁学模拟相结合的方法得到面内各向异性与实验参数（图形尺寸、间距、图形排列变化等）之间的关系；在此基础上研究薄膜的高频磁性，讨论高频磁性与薄膜磁各向异性之间的关系。该项目的立项，将为可控调节软磁薄膜微波磁性奠定基础。

中文关键词： 软磁薄膜；磁导率；磁各向异性；激光刻蚀；高频磁性

英文摘要：

英文关键词： soft magetic film；permeability；magnetic anisotropy；laser etching；high frequency magnetic properties