基于多构型微热驱动阵列的MEMS器件稳定性提升机理与方法研究

项目名称： 基于多构型微热驱动阵列的MEMS器件稳定性提升机理与方法研究

项目编号： No.51175506

项目类型： 面上项目

立项/批准年度： 2012

项目学科： 机械、仪表工业

项目作者： 陈志华

作者单位： 中国人民解放军国防科学技术大学

项目金额： 60万元

中文摘要： MEMS器件在高尖端武器装备中未得到广泛应用的主要原因是器件稳定性达不到应用要求。目前提高MEMS器件稳定性的主要手段是被动补偿，但是，由于元器件的温度特性建模难度大，采取补偿的方法不可避免的会存在测量误差和控制滞后，MEMS器件仍然难以达到高稳定性。针对这一问题，提出了一种提高MEMS器件稳定性的新方法- - 利用微热驱动阵列调节和控制MEMS器件力学特性。本项目主要围绕微热驱动阵列的设计理论、工作机理、加工工艺和应用技术开展研究工作。主要研究内容如下：（1）微热驱动单元设计与建模；（2）微热驱动阵列典型构型设计及其场效应分析；（3）多构型微热驱动阵列对基本微结构力学特性的调节作用；（4）微热驱动阵列加工与测试；（5）微热驱动阵列在高性能微陀螺中的应用。项目的研究成果将会为实现高稳定性MEMS器件提供新的思路。

中文关键词： 微机电系统；热驱动；阵列；变形；主动调控

英文摘要：

英文关键词： MEMS；Thermal Actuation；Array；Deformation；Active Modify