激光冲击波诱发提高铜纳米薄膜电性能的工艺及机理

项目名称： 激光冲击波诱发提高铜纳米薄膜电性能的工艺及机理

项目编号： No.51175234

项目类型： 面上项目

立项/批准年度： 2012

项目学科： 机械工程学科

项目作者： 花银群

作者单位： 江苏大学

项目金额： 60万元

中文摘要： 以磁控溅射后的铜纳米薄膜为对象，利用激光冲击波产生的应力和形变诱发其产生亚结构组织变化。借助于显微组织分析的试验手段，从孪晶生长理论、位错学理论和金属物理学等角度，进一步分析研究激光冲击波诱发纳米铜薄膜亚结构组织孪晶的生长方式、形态及分布的形成机理；探索激光冲击影响铜薄膜电学性能变化的微观机制；优化激光冲击提高薄膜材料电学性能的工艺参数与技术路径；从冲击动力学、界面力学、物理力学等出发，建立表征激光冲击工艺参数对薄膜与基体之间结合力相互影响的数学模型。通过该项研究预期能进一步丰富激光冲击诱发纳米薄膜相变机制理论，总结出激光冲击提高纳米薄膜电学性能的新机理，同时开辟激光冲击波技术在微纳米薄膜领域应用的新工艺新技术。

中文关键词： 激光冲击波；纳米铜薄膜；ZnO纳米压电薄膜；纳米铝薄膜；电学性能

英文摘要：

英文关键词： laser shock wave；nano-Cu films；nano-ZnO Piezoelectric films；nano-Al films；electrical properties