ArF激光薄膜抗激光损伤阈值与使用寿命预测研究

项目名称： ArF激光薄膜抗激光损伤阈值与使用寿命预测研究

项目编号： No.61178020

项目类型： 面上项目

立项/批准年度： 2012

项目学科： 信息四处

项目作者： 邓文渊

作者单位： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

项目金额： 73万元

中文摘要： 193nm波长ArF激光在光刻技术等领域中具有十分重要的应用，其相关技术成为激光应用研究的热点。光学薄膜元件激光损伤与使用寿命是限制193nm激光应用进一步发展的主要瓶颈。同时由于影响193nm激光薄膜元件损伤的因素很多，机理十分复杂，目前还没有形成建立有效的基本理论模型。本项目拟通过对薄膜各种特性及演化的综合测试表征，系统研究薄膜特性及其演变与薄膜损伤之间的关系，建立193nm激光薄膜元件损伤机理和使用寿命预测的理论模型。首先系统研究衬底表面质量、薄膜材料、制备方法及工艺参数、薄膜类型、激光参数、及使用方式等对193nm激光薄膜损伤的影响，进而建立损伤机理的理论模型；其次研究长期低能密度193nm激光辐射下薄膜特性演化的规律，建立针对193nm激光薄膜使用寿命预测的理论模型。本项目将缩小我国与国际在193nm激光薄膜研究的差距，促进我国193nm激光应用技术的发展。

中文关键词： ArF激光；光学薄膜；激光损伤阈值；寿命；吸收

英文摘要：

英文关键词： ArF excimer laser；optical film；laser induced damage threshold；lifetime；absorption