高分辨率板状构件三维显微层析成像关键技术研究

项目名称： 高分辨率板状构件三维显微层析成像关键技术研究

项目编号： No.10905063

项目类型： 青年科学基金项目

立项/批准年度： 2010

项目学科： 金属学与金属工艺

项目作者： 孙翠丽

作者单位： 中国科学院高能物理研究所

项目金额： 24万元

中文摘要： 利用显微X射线三维层析(3D-μ)检测技术，针对传统CT扫描方式无法对于板状构件进行层析的问题，提出一种射线倾斜扫描三维数字层析方法。为航空、航天、兵器、电子工业等领域内频繁使用的板状结构（蜂窝板、多层印刷电路板、BGA阵列等）的质量检测提供新的手段，该技术还可为集成芯片、多层PCB板内部结构信息的无损破译提供手段。以微米级分辨率图像再现被检工件内部质量信息，同时配合以图像匹配和特征识别技术，实现对不确定形态多余物的自动识别。攻克针对板状构件的锥束射线倾斜扫描层析成像关键技术难题，为板状构件内部结构成像、缺陷及异常检测提供高分辨率的层析成像方法，并形成一套面向工程化的技术单元。

中文关键词： 板状构件层析成像；代数重建技术；不完备数据；图形处理单元；三维显微CT

英文摘要：

英文关键词： Computed Laminography；ART（algebraic reconstruction t；incomplete projection data；Graphic Processing Unit；3D Micro-Computed Tomography