柔性衬底上p型氧化铜、氧化锡基透明导电薄膜的制备及机理研究

项目名称： 柔性衬底上p型氧化铜、氧化锡基透明导电薄膜的制备及机理研究

项目编号： No.61404116

项目类型： 青年科学基金项目

立项/批准年度： 2014

项目学科： 无线电电子学、电信技术

项目作者： 孙剑

作者单位： 中国地质大学（武汉）

项目金额： 26万元

中文摘要： 制备高迁移率、结构和物性稳定的p型透明导电氧化物(TCO)一直是世界难题。柔性衬底上制备高性能的p型TCO是研发柔性p型TFT乃至未来柔性显示屏等设备的关键材料。本项目在柔性衬底上制备p型氧化铜基和氧化锡基透明导电薄膜，在保持透明度良好的情况下，使其p型导电性达到并超过在硬质基板上制备的最高水平。针对目前在氧化铜和氧化锡p型导电机理上的诸多争论，创新性地系统研究富氧、少氧条件以及环境中的氢元素(氢气和水汽)对薄膜p型导电性的影响，并揭示出氧化铜和氧化锡p型导电的真正原因。通过对氧化铜进行V族元素(N, P, As, Sb)掺杂，以及对氧化锡进行V族和I族元素(Li, Na, K)掺杂，从抑制氧空位和增加多余空穴两方面，提高p型导电性，并探明掺杂机制。从表面处理和过渡层两方面入手，解决柔性衬底的匹配度问题，提高机械强度。期望本研究对p型氧化物导电及柔性衬底的匹配度问题等有普适性参考价值。

中文关键词： p型氧化亚铜；p型氧化亚锡；透明导电氧化物；柔性透明纤维素衬底；

英文摘要： p type transparent conducting oxide (TCO) with high mobility, stable structure and properties is a globally unresolved problem. The key issue in developing p type TFT and the future flexible panels lies in the synthesis of p type TCO on flexible substrate

英文关键词： p type cuprous oxide；p type tin monoxide；transparent conducting oxide；flexible transparent cellulose substrate；