双表面等离子波共振腔纳米图形产生和成像光刻技术

项目名称： 双表面等离子波共振腔纳米图形产生和成像光刻技术

项目编号： No.61378057

项目类型： 面上项目

立项/批准年度： 2013

项目学科： 无线电电子学、电信技术

项目作者： 王钦华

作者单位： 苏州大学

项目金额： 76万元

中文摘要： 纳米尺度光电子器件是新兴战略产业（新能源/新型显示/光电信息）的重大共性基础问题，探索高效纳米结构产生与光刻加工方法，是新型纳米器件研发的客观要求和国际研究热点。本项目提出一种基于双表面等离子共振腔的可调谐纳米结构产生机理和任意纳米图形的成像光刻技术与实验方法。重点研究（1）双表面等离子共振腔的特性以及产生可调谐深亚波长结构（周期30-200nm可调）和任意图形的成像光刻（特征线宽45nm以下）的物理机理和条件（2）纳米图形排布和成像光刻分辨率及光刻焦深与共振腔腔长、腔内匹配介质、入射光偏振态和各腔极板材料与表面特性等因素的关系和主动优化设计方法（3）建立可调谐纳米结构产生和任意纳米结构图形成像光刻的双共振腔紫外激光直写实验装置和工艺，实现30-200nm周期结构偏振器件的可调谐制作和线宽小于45nm任意图形的成像光刻，形成有特色纳米制造技术和工艺方法,为纳米器件研究提供关键技术和理论。

中文关键词： 超分辨；纳米光刻；纳米图形产生；表面等离子激元共振腔；偏振

英文摘要： High performance nanoscale optoelelctric materials and/or devices are fundamental and common needs for all emerging strategic industries including clean and sustainable energy, next-generation display and optoelelctronic IT technologies. Exploration and i

英文关键词： superresolution；nanophotolithography；nano pattern generation；surface plasmon polariton resonant cavity；polarization