面向仿生分级多层微纳结构的跨尺度设计优化和制备新方法

项目名称： 面向仿生分级多层微纳结构的跨尺度设计优化和制备新方法

项目编号： No.90923019

项目类型： 专项基金项目

立项/批准年度： 2010

项目学科： 生物科学

项目作者： 史铁林

作者单位： 华中科技大学

项目金额： 50万元

中文摘要： 生物表层上的三维多级多层微纳结构常常具有优秀的机械、力学及光学性能，如超疏水性、自清洁性和结构色等等。这类结构的仿生设计优化和制备具有广泛的应用前景。本课题将基于生物表层多级多层微纳结构的特点进行跨尺度仿生结构的设计优化，通过集成多层膜工艺、干法深刻蚀工艺和湿化学侧向选择性腐蚀工艺开发用于制备仿生三维多级多层微纳结构的通用跨尺度微纳制造技术，解决跨尺度制造中微纳结构的耦合设计和大面积结构难以复制排列及制备高成本等难题，同时探索多物理场作用下微纳结构的多层次多界面的结构和性能的演变规律。实验研究将针对微纳制造的多种工艺的参数控制耦合问题进行工艺过程的优化，实现最优的集成工艺制造过程。本课题在跨尺度微纳结构的耦合设计及制造工艺集成策略方面有极强的创新意义，将为复杂仿生微纳结构的应用提供制造手段，同时为我国纳米制造技术的发展和应用提供新方法、新工艺和新原理。

中文关键词： 微纳制造；仿生结构；三维电极阵列；微纳集成；跨尺度设计

英文摘要：

英文关键词： micro-nano manufacturing；biomimetic structure；3-dimensional electrode array；micro-nano integration；cross-scale design