圆形仿生微管道的一步制作研究

项目名称： 圆形仿生微管道的一步制作研究

项目编号： No.60977041

项目类型： 面上项目

立项/批准年度： 2010

项目学科： 自动化技术、计算机技术

项目作者： 张红鑫

作者单位： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

项目金额： 38万元

中文摘要： 芯片实验室即微流控芯片的研究近年来发展迅速。由于其具有微小型化、成本低、高产率、处理速度快等诸多优点，故已经在生命医学、化学有机合成、化学分析、环境监测等多个领域得到了应用。密封微通道作为微流控系统最主要的元件，起着传输流体和连通各个微反应室、输入和输出口以及其它部件的重要作用。理想的密封微通道应该为类似人体血管的圆形管道并且要内表面尽可能地光滑以利于流体的传输。然而去实现这样一种微通道对目前的微制作方法来说是一个巨大的挑战，因为目前所有见诸报道的微制作方法都需要多个步骤才能完成密封微通道的制作，并且所得到的微通道的内表面都相当粗糙。本项目提出发展和建立一种新的微制作方法，即毛细力辅助的静电诱导光刻技术。利用该技术，可以一步制得密封的圆形仿生微管道，并且微管道内表面粗糙度的平均值可以控制在5纳米以下。相信这一技术的发展一定可以极大地提高整个微流控系统的性能。

中文关键词： 静电诱导；多场力耦合；微纳加工；微流体；

英文摘要：

英文关键词： Electrostatic induction；Multi field coupling；Micro-nano processing；Microfluid；