LiTaO3热释电甚长波红外探测器纳米结构NiCr吸收层的制备及特性研究

项目名称： LiTaO3热释电甚长波红外探测器纳米结构NiCr吸收层的制备及特性研究

项目编号： No.61405027

项目类型： 青年科学基金项目

立项/批准年度： 2014

项目学科： 无线电电子学、电信技术

项目作者： 于贺

作者单位： 电子科技大学

项目金额： 25万元

中文摘要： 红外吸收层作为影响器件吸收特性的重要材料，已成为制约LiTaO3热释电甚长波红外探测器性能提高的关键因素。为改善现有的红外吸收材料在性能、制备工艺和成本等方面的不足，本项目拟采用脉冲磁控溅射技术，制备具有波段选择性的折射率渐变型NiCr吸收材料和宽光谱良好吸收特性的类黑金NiCr吸收材料。所制备材料具有电极和吸收层双重作用，不仅提高了吸收性能，而且可简化工艺，降低成本。同时，建立红外吸收模型，研究吸收材料的折射率、复介电常数、厚度、微观结构与吸收层光学特性的数学关系，在吸收机理的理论研究方面取得突破。此外，本项目亦将对一种由超薄NiCr材料和λ/4真空谐振腔所构成的新型吸收结构的设计与制备展开研究，从理论计算和实验研究两个方面优化NiCr薄膜厚度，实现吸收层在甚长红外波段的选择性吸收。以上研究将解决我国星载热释电探测器对甚长波红外探测的迫切需求，同时为探测器研制提供技术基础。

中文关键词： 热释电探测器；纳米结构NiCr；超薄NiCr选择性吸收层；甚长波红外；

英文摘要： Infrared absorber, as one of the most important structures in LiTaO3 based Infrared pyroelectric detectors, became a key factor that has limited the detection of devices in very long wavelength. There are some potential issues of the common used absorbers

英文关键词： pyroelectric detector；NiCr thin films with nanostructures；NiCr nano-metallic films for selective absorber；very long wavelength infrared；