纳米薄膜力学性能直接测量新方法研究

项目名称： 纳米薄膜力学性能直接测量新方法研究

项目编号： No.11374069

项目类型： 面上项目

立项/批准年度： 2013

项目学科： 数理科学和化学

项目作者： 刘前

作者单位： 国家纳米科学中心

项目金额： 90万元

中文摘要： 纳米薄膜力学性能是纳米薄膜评价和应用的重要指标。然而，到目前为止尚无有效的直接测量方法，严重阻碍了该领域的研究进展。本申请项目拟通过建立新的研究手段和方法实现纳米薄膜力学参数的直接测量，具体研究内容如下：（1）采用激光直写制备纳米薄膜双臂梁，巧妙回避衬底的影响，并通过微探针纳米压痕法实现力学参数的有效和直接测量；（2）以金膜及二氧化钛双臂梁为例，研究不同制膜方法和不同工艺下的纳米薄膜的力学特性；（3）通过数据分析，研究薄膜固有特性对力学参数的影响，建立适用于纳米薄膜力学参数测量分析的一般模型和方法。研究结果将为纳米薄膜在力学传感器、衍射光学元件（DOEs）、微机电系统（MEMs）等领域的应用提供可靠依据。

中文关键词： 纳米薄膜；杨氏模量；原子力；；

英文摘要： The mechanical feature is an important index in evaluation and application of nano thin films.However,no direct and effective testing method so far can be used, which seriously hindering the progress of this field. This application project is to build new

英文关键词： nano thin film；Yung'modulate；AFM；；