基于纳米带场效应晶体管的ppb量级高灵敏SO2半导体传感器研究

项目名称： 基于纳米带场效应晶体管的ppb量级高灵敏SO2半导体传感器研究

项目编号： No.61376074

项目类型： 面上项目

立项/批准年度： 2013

项目学科： 无线电电子学、电信技术

项目作者： 童艳红

作者单位： 东北师范大学

项目金额： 80万元

中文摘要： SO2是大气污染物最重要的成分之一。准确、灵敏、廉价的SO2传感器对于环境监测和人类健康非常重要。电阻型半导体气体传感器具有廉价、寿命长等优点，是应用最广泛的气体探测器之一。但是，目前半导体SO2传感器工作温度高（200-550摄氏度）、探测下限差（通常高于1 ppm），制约了产业化发展。申请者拟针对这一国际挑战性问题，以获得探测下限低于100 ppb (实用标准)，分辨率10 ppb，灵敏度高于40%的室温SO2传感器为研究目标，通过构筑固体绝缘层-金属膜电极、空气绝缘层-金属膜电极，固体绝缘层-导电纳米带电极等构型，开展SnO2/ZnO纳米带场效应型SO2传感器研究。同时，研究传感器对SO2的微观响应机制，澄清当前SO2半导体传感器响应机理存在的争议，为进一步优化性能提供理论依据。

中文关键词： 气体传感器；微纳单晶；场效应器件；柔性；有机半导体

英文摘要： SO2 is one of the most dangerous air pollutants that impair environment and human health.It is of great importance to measure the low concentration of SO2 in air accurately and fast for human health protection and air-quality monitoring.Semiconductor resi

英文关键词： gas sensors；micro/nano meter single crystals；field effect transistors；flexibility；organic semiconductor