高速转盘式飞秒激光纳米直写装置的研制

项目名称： 高速转盘式飞秒激光纳米直写装置的研制

项目编号： No.61127010

项目类型： 专项基金项目

立项/批准年度： 2012

项目学科： 信息四处

项目作者： 孙洪波

作者单位： 吉林大学

项目金额： 280万元

中文摘要： 激光纳米制造作为一种超精密制造手段，正在基础科研、工业与国防高技术领域展现广阔的应用前景，但由于加工效率与加工分辨率的矛盾，尚无满足实用化需求的专用设备，使其应用只能停留在实验室展示阶段。本项目立足于申请团队良好的先期工作基础，提出研制基于步进自转扫描这一创新方案的高速飞秒纳米直写装置。主要思想是将现有飞秒激光纳米加工的直写控制技术和DVD的光盘伺服技术有机结合，具体通过对载物盘的稳定自转控制、动作部件精密时序控制、运动误差溯源和比特环寻址纠偏等关键科学和技术问题的研究，实现高精度环式扫描条件下的大面积、高效率加工。通过上述工作，建立高速转盘式飞秒激光纳米直写装置制造的完整知识和技术体系，研制出原理样机，主要性能达到：在保证总体造型精度百纳米的情况下，将可加工器件尺寸由百微米提高到厘米量级，扫描线速度由毫米/秒提高到米/秒量级。通过以上工作为我国超精密制造设备的研制和自主创新贡献力量。

中文关键词： 飞秒；纳米；微加工；；

英文摘要：

英文关键词： femtosecond；nano；microfabrication；；