高气压介质阻挡放电等离子体中活性物种的腔增强吸收光谱诊断研究

项目名称： 高气压介质阻挡放电等离子体中活性物种的腔增强吸收光谱诊断研究

项目编号： No.10975029

项目类型： 面上项目

立项/批准年度： 2010

项目学科： 数理科学和化学

项目作者： 徐勇

作者单位： 大连理工大学

项目金额： 46万元

中文摘要： 高气压硅烷和碳氟等离子体是常见的等离子体源,在材料表面改性、薄膜沉积和刻蚀等领域具有广阔应用前景，对它的研究具有重要的理论和实际应用价值，而这其中最关键的问题就是对引发各种化学反应的活性物种的诊断研究。在高气压硅烷和碳氟等离子体工艺过程中，起重要作用的活性物种主要包括SiHx和CFx自由基、亚稳态Ar原子、基态O原子以及离子等。本项目的研究目标是建立适用于高气压活性物种诊断的非相干宽带腔增强吸收光谱装置和相干腔增强吸收光谱装置，对高气压介质阻挡放电硅烷和碳氟等离子体中SiHx和CFx自由基以及亚稳态Ar原子和基态O原子等进行定量诊断研究。结合发射光谱及分子束质谱诊断技术，对以上两种放电体系中的活性物种（基态及激发态原子分子、离子等）进行全面诊断研究，探讨放电参数以及气体组份和含量对活性物种浓度的影响，从而为等离子体工艺过程提供必要的参考。

中文关键词： 等离子体诊断；腔增强吸收光谱；活性物种；；

英文摘要：

英文关键词： plasma diagnostics；cavity enhanced absorption spe；active species；；