基于MEMS功率传感技术的单片微波相位集成检测系统的设计理论和实现方法的研究

项目名称： 基于MEMS功率传感技术的单片微波相位集成检测系统的设计理论和实现方法的研究

项目编号： No.60976094

项目类型： 面上项目

立项/批准年度： 2010

项目学科： 自动化技术、计算机技术

项目作者： 廖小平

作者单位： 东南大学

项目金额： 36万元

中文摘要： 研究内容和意义简介：微波相位检测广泛地应用在民用和军用微波通讯领域，利用MEMS技术实现微波相位检测的单片系统集成有着重要意义。本项目创新地提出了基于MEMS 功率传感技术的单片微波相位集成检测系统结构性方案，其特点是设计集成微波功率分配/合成器和移相器平衡地处理信号以提高检测精度，针对功率大小设计MEMS电容式和热电式两种微波功率传感器的级联结构以提高灵敏度和抗烧毁水平，整个系统由无源器件构成以实现零直流功耗。核心研究内容是建立一套完整的基于MEMS功率传感技术的单片微波相位集成检测系统的设计理论和实现方法，包括：（1）功分/功合器和移相器的微波集成设计、功率传感器的电-力-电和电-热-电转换设计理论研究；（2）应用理论研究成果指导微波相位检测系统的设计、GaAs MMIC工艺进行的单片系统集成及其封装测试；（3）试验结果验证基于MEMS技术的微波相位检测系统设计理论和实现方法的有效性。

中文关键词： 微波相位检测；微电子机械系统；热电式功率传感器；电容式功率传感器；单片微波集成电路

英文摘要：

英文关键词： Microwave Phase Detection；MEMS；Thermoelectric Power Sensor；Capacitive Power Sensor；Monolithic Microwave IC