基于正交偏振激光回馈的纳米溯源原理和技术研究

项目名称： 基于正交偏振激光回馈的纳米溯源原理和技术研究

项目编号： No.51375262

项目类型： 面上项目

立项/批准年度： 2013

项目学科： 机械、仪表工业

项目作者： 谈宜东

作者单位： 清华大学

项目金额： 82万元

中文摘要： 纳米测量是纳米科技发展的基础，如何实现可溯源的纳米测量一直是国际上尚未很好解决的基础性科学问题。它不但要求具有纳米级的分辨率，而且还需具有溯源性，同时考虑环境扰动、系统复杂程度及成本等因素。本申请提出一种基于激光纳米条纹的纳米溯源新原理，利用激光高阶回馈效应，产生高倍频的激光回馈条纹。该条纹与传统的双光束半波长干涉条纹不同，无需电子细分，它天然具有纳米级的光学分辨率（4nm甚至更高），可溯源到激光波长。基于此，设计了平凹腔和直角棱镜阵列回馈两种原理方案，结合相位正交、偏振跳变、等平均光强动态稳频等创新技术，实现纳米溯源测量。采用该原理的测量系统不但可以用于纳米级的高精度测量，而且还可以用于标定其他的位移传感器,如激光干涉仪。

中文关键词： 激光高阶回馈；可溯源；纳米条纹；正交偏振；

英文摘要： The nanometer measurement is the base of the development of nanotechnology. How to realize the tracable nanometer measurement? It is a basic scientific issue unsolved in the international academic circles. It requires not only the nanoscale resolution, bu

英文关键词： laser high-order feedback；traceability；optical fringe with nanometer width；orthogonal polarization；