化学气相沉积法催化生长高结晶六方氮化硼薄膜及其发光性质

项目名称： 化学气相沉积法催化生长高结晶六方氮化硼薄膜及其发光性质

项目编号： No.50972033

项目类型： 面上项目

立项/批准年度： 2010

项目学科： 一般工业技术

项目作者： 于杰

作者单位： 哈尔滨工业大学

项目金额： 33万元

中文摘要： 国际上最新的研究进展表明，六方氮化硼（hBN）具有卓越的紫外发光能力，是新一代紫外光电器件的重要候选材料；利用高温高压法和固相催化反应法已经成功制备出具有近带边发光能力的hBN晶体。本项目基于国际上最新的研究进展和化学气相沉积法（CVD）制备hBN薄膜存在的问题，将催化结晶反应引入CVD反应系统，以期建立一种适合器件制备要求的高结晶hBN薄膜的制备方法，即CVD法催化生长。通过研究催化剂的种类和结构对hBN薄膜CVD生长的影响规律确定适于CVD反应环境并具有高效催化功能的催化剂体系及其结构特征；通过研究CVD工艺参数对hBN薄膜催化生长的影响规律，建立高结晶hBN薄膜CVD催化生长的工艺条件，生长出具有带间或近带边发光能力的高结晶hBN薄膜；通过研究不同结构hBN薄膜的发光特性，建立发光特性与薄膜结构的关系，确定具有带间或近带边发光能力的hBN薄膜的结构特征。

中文关键词： 六方氮化硼；化学气相沉积；催化；发光；薄膜

英文摘要：

英文关键词： hexagonal boron nitride；chemical vapor deposition；catalyzing；light emission；thin films