晶态纳米孔阵列氧化铝薄膜的微等离子体阴极化载波冲击电解氧化形成过程机制

项目名称： 晶态纳米孔阵列氧化铝薄膜的微等离子体阴极化载波冲击电解氧化形成过程机制

项目编号： No.50971126

项目类型： 面上项目

立项/批准年度： 2010

项目学科： 一般工业技术

项目作者： 杜克勤

作者单位： 中国科学院金属研究所

项目金额： 33万元

中文摘要： 为突破传统的铝阳极化获得的多孔氧化膜（AAO）呈非晶态且化学非稳定性的局限性，解决以AAO薄膜为基础结构的纳米功能元件普遍存在的环境稳定性差问题；提出微等离子体阴极化载波冲击电解氧化过程及其控制技术，改变微等离子体电解氧化动力学过程。在属于阳极化法拉第电压区间，辅助施加阴极化载波冲击作用，在氧化膜孔道内发生微等离子体并激发形成不同微区放电阻抗，实现膜层内相转变可控，生成有序纳米孔阵列的微结构。通过原位阻抗分析技术研究该过程的动力学规律，揭示阴极化载波冲击作用对所形成氧化膜微结构与相转化的变化规律以及晶体演变对化学稳定性的影响机制，解决微结构形成与化学稳定性相互制约的科学问题，为实现具有纳米级孔阵列、化学稳定性的陶瓷性氧化铝薄膜的制备奠定理论与方法基础。

中文关键词： 铝阳极氧化膜；微等离子体；阴极化载波；电解氧化；微结构

英文摘要：

英文关键词： Anodic aluminum oxide film；Microplasma；Cathodic carrier waveform；Electrolysis oxydation；Microstructure