金属膜在绝缘薄膜表面的定点选择性直接生长

项目名称： 金属膜在绝缘薄膜表面的定点选择性直接生长

项目编号： No.20961001

项目类型： 地区科学基金项目

立项/批准年度： 2010

项目学科： 化学工业

项目作者： 苏炜

作者单位： 广西师范学院

项目金额： 26万元

中文摘要： 现代社会对能耗低、污染少、低成本、高附加值的材料以及制备工艺的要求越来越高。金属/聚合物薄膜体系作为现代微电子技术中"导线/绝缘基底"体系的一个重要的发展方向，其制备技术引起了来自不同领域的科研工作者的广泛兴趣。本课题选择广受赞誉的聚合物薄膜材料聚酰亚胺薄膜作为绝缘基底，在其表面上以直接生长的方式组装金属层，通过研究金属/聚酰亚胺薄膜之间的粘结力、细微形貌结构，来探究此金属/聚合物异质结的界面结构，以及金属膜的表面形貌与其电学特性之间的关系。并以该直接生长的金属/聚合物薄膜体系为基础，研究金属膜的定位生长技术。考虑引入在印刷行业已经成熟应用的定位印刷技术，在聚酰亚胺薄膜表面上设计所需图案，并使金属薄膜以此图案直接定位生长，从而制备成所需要的金属导线，并研究该金属导线的导电性能。探寻金属晶体生长形貌与其电学性能之间的关系。探索绝缘基材上直接生长金属导线技术的新的思路和方法。

中文关键词： 铜薄膜；界面；纳米粒子；表面化学；

英文摘要：

英文关键词： copper thin film；interfaces；nanoparticles；surface chemistry；