频率型微陀螺谐振子振动非线性特性的理论与实验研究

项目名称： 频率型微陀螺谐振子振动非线性特性的理论与实验研究

项目编号： No.61273060

项目类型： 面上项目

立项/批准年度： 2013

项目学科： 自动化技术、计算机技术

项目作者： 樊尚春

作者单位： 北京航空航天大学

项目金额： 84万元

中文摘要： 以频率型微陀螺谐振子结构和参数的优化设计为目标，研究频率型微陀螺谐振子在不同振幅（包括小振幅）下的非线性特性、在稳态及瞬态下的时变参数激励特性，以及振动非线性与时变参数激励的耦合影响规律。以对微陀螺谐振子敏感机理的系统深入研究为切入点，通过基于加权残值和小参数摄动法的解析分析、针对微陀螺实际工况下的数值仿真计算，以及基于综合测试分析仪器的模拟实验验证相结合的方式，深入研究交变载荷、环境温度、激励检测方式、振动幅度等对微陀螺谐振子的振动非线性特性的影响，以及保证陀螺正常工作的振幅阈值、参数激励的稳定性区域、振动非线性引起的陀螺测量误差、类Mathieu方程的工程应用近似解等关键问题，建立符合微陀螺实际应用特点的非线性振动模型。通过本项目的研究将给出减小频率型微陀螺振动非线性引起的测量误差，以及改善其实际测量过程动态响应的优化设方法，为研制高性能频率型微陀螺奠定坚实的理论与实验基础。

中文关键词： 频率型微陀螺；非线性；谐振梁；阻尼；

英文摘要： This project aims at optimizing the structure and the parameters of the resonator in the direct frequency output micro gyroscope. To this end, the nonlinear characteristics under different vibrating amplitudes, including small amplitude, the steady and transient time-varying parametrical excitement behavior, and the influencing rule of the coupling between the nonlinear vibration and the time-varying parametrical excitement of the resonator in the direct frequency output micro gyroscope will be investigated. Grasping the strating point of the thorough investigation of the resonator sensing mechanism of the micro gyroscope, and by a combined method of the analytical calculation based on weighted residual method and small parameter perturbation method, numerical simulation considering the practical working conditions and the experimental validation based on the synthetical testing analyzer, several investigations will be thoroughly performed. These investigations include the effect of the alternating loads, the environmental temperature, driving and detecting methods and the vibrating amplitudes on the nonlinear vibration of the resonator in the micro gyroscope, the critical vibrating amplitude guaranteeing the normal operation of the gyroscope, the stable areas under parametrical excitement, the measurement error

英文关键词： Resonant MEMS gyroscope；nonlinear；resonant beam；damping；