抗非均匀反射扰动复色差动超分辨共焦显微传感机理研究

项目名称： 抗非均匀反射扰动复色差动超分辨共焦显微传感机理研究

项目编号： No.50905048

项目类型： 青年科学基金项目

立项/批准年度： 2010

项目学科： 无线电电子学、电信技术

项目作者： 刘俭

作者单位： 哈尔滨工业大学

项目金额： 21万元

中文摘要： 针对不同材料基底、混合材料、掺杂结构以及曲面浮雕结构的微米及亚微米尺度大台阶元件三维结构参数测量传感机理问题，开展兼顾具有三维高分辨率、大量程、抗非均匀反射扰动特性的光学非接触传感方法研究。首先，以远离焦和近离焦探测器响应信号的差与和之比做为输出函数，获得轴向高灵敏度特性和非均匀反射扰动乘性噪声抑制特性；然后，利用复色光聚焦轴向色散特性，通过增加照明光数量，克服横向、轴向分辨率提高与量程扩展的矛盾关系，从而在不牺牲三维分辨率前提下，使量程得到成倍扩展；最后，采用光学超分辨滤波技术进一步提高横向分辨率。课题研究核心特色与创新之处在于解决兼顾三维高分辨率、大量程和抗反射率跳变、表面倾斜以及激光器功率漂移扰动特性的传感机理问题。预期技术指标：反射率跳变适用范围：10%-100%；轴向有效分辨率：1nm；横向有效分辨率：0.2um；量程范围扩展到基本共焦系统的2倍。

中文关键词： 三维测量；复色差动共焦；反射扰动抑制；超分辨滤波器；大量程

英文摘要：

英文关键词： Three dimensional measurement；Differential confocal microsco；Inhibition of reflectance dis；Superresolving filter；wide measuring range