基于表面等离激元的无掩模并行纳米直写技术研究

项目名称： 基于表面等离激元的无掩模并行纳米直写技术研究

项目编号： No.61138002

项目类型： 重点项目

立项/批准年度： 2012

项目学科： 无线电电子学、电信技术

项目作者： 罗先刚

作者单位： 中国科学院光电技术研究所

项目金额： 280万元

中文摘要： 本项目针对纳米科技对高分辨力、低成本的新型纳米直写技术迫切需求，提出利用表面等离子体激元(SP)超衍射特性，采用由多层金属介质薄膜构建SP耦合传输结构材料的思路，利用狭缝结构调控SP传输和形成纳米尺度焦斑，并用于纳米直写技术研究。主要研究SP纳米聚焦原理，器件结构设计、制备和表征方法；配套纳米直写关键单元技术，如近场工作距监测和控制技术、多通道可编程照明技术等；搭建紫外激光束纳米直写实验装置，完成32nm线宽纳米图形制备。相对国内外同类研究，本项目研究的SP纳米直写器件具有分辨力高、调制能力强和能量收集面积大的优势，同时通过理论和工艺研究可解决近场焦斑畸变和光刻图形对比度低、焦深浅的关键问题。项目研究成果将形成纳米加工源头技术的新原理和新方法，为具有自主知识产权的装备研制奠定重要基础，对推动我国相关科研和产业发展进步具有重要意义。

中文关键词： 表面等离子体；超分辨纳米聚焦器件；纳米直写装备；纳米加工；

英文摘要：

英文关键词： surface plasmonic；sub-resolution nano focusing device；nano direct writing setup；nano fabrication；