分子云外延Hg1-yCdySe/InAs/Si(211)红外探测器材料

项目名称： 分子云外延Hg1-yCdySe/InAs/Si(211)红外探测器材料

项目编号： No.61367008

项目类型： 地区科学基金项目

立项/批准年度： 2013

项目学科： 无线电电子学、电信技术

项目作者： 刘翔

作者单位： 昆明理工大学

项目金额： 41万元

中文摘要： 红外长波技术发展及应用需要制备高性能大面积焦平面列阵。Hg1-xCdxTe材料在长波波段与衬底晶格失配度较大、位错密度较高，严重影响红外焦平面列阵性能。本项目提出采用结合液相外延（LPE）、热壁外延（HWE）、等温汽相沉积（ISOVPE）技术特点的"分子云外延（MCE）"，在InAs/Si(211)复合衬底表面制备Hg1-xCdxSe薄膜，Hg1-xCdxSe材料在长波波段与复合衬底晶格失配度较小、位错密度较低，进而可获得高质量、大面积、廉价长波红外焦平面列阵。通过完善分子云外延系统、优化制备石英模具及生长工艺条件，获得高质量As活化InAs/Si(211)复合衬底及组分均匀的Hg1-xCdxSe薄膜。通过XRD、FITR、SEM、台阶仪和Hall等对薄膜结构和性能进行表征；同时，将HgCdSe材料用于试制红外探测器焦平面列阵。项目研究结果为长波波段高性能红外探测器件研制奠定新的材料基础。

中文关键词： 分子云外延；硒镉汞；长波；红外探测器；

英文摘要： High performance and large scale focal plane array need to be prepared under the condition of infrared technology development and application. There are large lattice mismatch and etch pit density(EPD) for Hg1-xCdxTe material at the range of long waveleng

英文关键词： Molecular Cloud Epitaxy；Hg1-yCdySe；Long wavelength；Infrared detector；