掺氟二氧化锡薄膜光电性能优化的激光表面处理方法及其机理研究

项目名称： 掺氟二氧化锡薄膜光电性能优化的激光表面处理方法及其机理研究

项目编号： No.61405078

项目类型： 青年科学基金项目

立项/批准年度： 2014

项目学科： 无线电电子学、电信技术

项目作者： 李保家

作者单位： 江苏大学

项目金额： 26万元

中文摘要： 掺氟二氧化锡（FTO）薄膜广泛应用于薄膜太阳能电池领域，主要要求其具有良好导电性、高透光率以及强光散射能力。在传统制薄膜制备工艺中，受工艺条件和薄膜材料自身属性影响，薄膜光电性能的综合优化受到制约，这将极大地影响FTO薄膜的实际应用。本项目针对传统制膜工艺得到的FTO薄膜综合光电性能提升有限的问题，采用先进的激光微纳加工技术（包括掩模扫描法、贴膜扫描法、旋转角度控制法、高频振动控制法及激光退火）对FTO薄膜进行表面处理，探讨激光作用下薄膜表面损伤与微纳绒面结构形成之间的关联，总结归纳FTO薄膜表面绒面结构的形成条件、关键影响因素和演变规律，提出薄膜表面绒面结构的形成机理；通过性能测试和对比分析获得FTO薄膜光电性能随加工参数变化的规律性描述，为提高FTO薄膜综合光电性能、促进其广泛应用奠定基础。

中文关键词： 掺氟二氧化锡(FTO)；激光；绒面结构；退火；光电性能

英文摘要： Fluorine-doped tin oxide (FTO) thin films are widely used in thin-film solar cells to meet the requirements of good conductivity, high tansparency and excellent light scattering capacity. Being prepared just by traditional preparation processes of thin fi

英文关键词： Fluorine-doped tin oxide (FTO)；Laser；Textured structure；Annealing；Photoelectric property