谐振式硅微结构传感器综合测试分析仪器

项目名称： 谐振式硅微结构传感器综合测试分析仪器

项目编号： No.60927005

项目类型： 专项基金项目

立项/批准年度： 2010

项目学科： 电工技术

项目作者： 樊尚春

作者单位： 北京航空航天大学

项目金额： 150万元

中文摘要： 研制功能较强、有一定开放性的谐振式硅微结构传感器综合测试分析仪器，用于微机械谐振敏感结构、包含激励与检测单元的微机-电等效谐振子和传感器闭环系统的测试、分析与评估。项目以敏感机理为切入点，以形成自主研制高性能微传感器的整体实力为目标，顶层设计仪器的整体功能与实现方案。基于仪器功能，从理论基础研究、实验测试研究、硬件系统研制三条线，在仪器的基础技术、信号处理技术、测试分析技术、智能分析方法四个层次，重点开展仪器体系结构与总线、机械结构、信号接口、二次开发接口以及激励信号驱动电路、精密参考信号源、微弱信号检测电路的研究；突破静态激励特性、耦合干扰特性、振动非线性与激励－检测非线性解耦、谐振子开环特性等关键的测试分析技术；掌握传感器综合性能评估预测、传感器闭环模型交互生成、传感器闭环系统原型验证等方法。研究成果将突破国外在谐振式微结构传感器方面的技术封锁，提升我国自主创新研究实力。

中文关键词： 谐振式传感器；微机械传感器；综合测试仪；微弱信号；非线性

英文摘要：

英文关键词： Resonant sensors；micro-machined sensors；integrated test instrument；weak signals；nonlinearity