基于图案相分离技术制备光学微腔阵列

项目名称： 基于图案相分离技术制备光学微腔阵列

项目编号： No.50972057

项目类型： 面上项目

立项/批准年度： 2010

项目学科： 一般工业技术

项目作者： 王牧

作者单位： 南京大学

项目金额： 36万元

中文摘要： 近年来随着亚波长光学和纳米技术的发展，人们对表面等离激元的研究兴趣迅速增加，期望金属微纳结构在光学传感等方面得到更多的应用。这类研究通常需要依赖高精度的微纳加工技术。方便、便宜地制备金属微纳结构对实际应用具有极其重要的意义。本项目拟借助纳米转印技术在硅表面进行表面能的图案化修饰，通过选区相分离实现聚合物PMMA/PS成核的空间位置调控，自组织地制备空间位置规则且尺寸均匀的聚合物模版。利用反应离子刻蚀和金属电子束蒸发技术，优化控制参数，制备出顶端具有金属圆盘的硅柱阵列，构建具有特定物理参数的光学微腔阵列。在此基础上，系统研究电磁波在微腔阵列中的传播规律，探索其作为分子探测传感器件和亚波长光学器件的可能性。

中文关键词： 聚合物相分离；自组织生长；表面等离激元学；光学微腔；微结构光学性质

英文摘要：

英文关键词： phase separation of polymers；self-organized growth；Plasmonics；optical microcavity；optical properties of microstr