数值研究脉冲射频大气压N2/O2混合气体放电中等离子体的基本特性

项目名称： 数值研究脉冲射频大气压N2/O2混合气体放电中等离子体的基本特性

项目编号： No.11505089

项目类型： 青年科学基金项目

立项/批准年度： 2016

项目学科： 数理科学和化学

项目作者： 王一男

作者单位： 辽宁石油化工大学

项目金额： 18万元

中文摘要： 在大气压混合气体放电的研究工作中，脉冲射频等离子体源得到了越来越多的关注。本项目将建立一个适用于脉冲射频大气压等离子体源的自洽的流体模型数值求解器。该模型求解器可以有效模拟大气压N2/O2混合气体放电过程。本项目将通过该数值求解器来研究脉冲调制射频放电参数 (比如调制频率、占空比等) 外部参数对放电特性的影响，特别是放电中的物理过程(场加热机制、电离机制、能量损失机制及物理化学过程等) 对放电稳定性及化学活性的影响，最后将给出相应的理论结果和参数的讨论。研究结果可以为脉冲射频放电设备的设计优化等提供一定的参考及解决方案。

中文关键词： 数值模拟；大气压等离子体；射频脉冲

英文摘要： Pulsed modulation radio-frequency plasma has attracted increasing attention in the research of atmospheric pressure mixture gases discharge. In this work, a self-consistent fluid model code is developed for the simulation of pulsed modulation radio-frequency discharge, which can simulate the process of N2/O2 discharge. The emphasis of this project is to investigate the influence of the pulsed radio-frequency parameters (pulsed frequency, duty cycle etc.) on the characteristics of discharge, especially the influence of the physical process (electron heating mechanism, ionization mechanism, energy loss mechanism and the reaction of physical an chemical)on the stable discharge and chemical activity, the theory results will be given and the parameters will be discussed at last .The results of this work will be helpful for the designation and optimization of the pulsed radio-frequency discharge equipment.

英文关键词： Numerical study;Atmosphere plasma ;Pulsed radio-frequency