气泡注入式微点、雾喷液机理研究

项目名称： 气泡注入式微点、雾喷液机理研究

项目编号： No.11172163

项目类型： 面上项目

立项/批准年度： 2012

项目学科： 数理科学和化学

项目作者： 王志亮

作者单位： 上海大学

项目金额： 65万元

中文摘要： 气泡注入式微点、雾喷液是由申请人提出的一种非接触式液点-雾点分散工艺，是针对微电子行业主流点胶工艺强调机械作用而轻视液体内秉性质设计思想的一种创造。利用气体射流失稳机制在微管内制造气泡以阻断液体射流的方法产生液点。喷液能够做到过程、精度、频率可控，所产生液点体积可低于纳升，而频次可高于主流工艺两个数量级以上。本课题将采用稳定性分析、流动界面数值模拟以及实验手段研究以下内容:受限微管道内气流入射液体射流的稳定性机制、微管道内气-液界面流态分析、微管内气-液-固三相接触线数值计算模型、微管出口液点成形和雾化机理、分析不同工艺参数对液点形成主要阶段的影响，同时结合实际尝试在模拟界面计算上对接触线、分层流动问题有理论和方法创新。本课题将丰富界面稳定性理论、增加对接触问题的物理认识和对其进行研究的理论和数值途径，阐释微管内多相流动物理机制,将获得新的液体雾化方法并在点胶技术上迈出自主发展的新步伐。

中文关键词： 微流体；射流；液滴；单色散；多相流

英文摘要：

英文关键词： microfluidics；liquid/gas jet；droplet；monodisperse；multiphase flow