激光陀螺高反镜缺陷反演算法研究

项目名称： 激光陀螺高反镜缺陷反演算法研究

项目编号： No.61405250

项目类型： 青年科学基金项目

立项/批准年度： 2014

项目学科： 无线电电子学、电信技术

项目作者： 吴素勇

作者单位： 中国人民解放军国防科学技术大学

项目金额： 25万元

中文摘要： 高反镜是激光陀螺中形成环形谐振腔的关键元件，其背向散射损耗决定了陀螺的闭锁阈值。目前超抛工艺已基本解决基片的表面散射问题，高反镜损耗可能主要来源于多层膜镀膜中的微结构缺陷。但目前尚缺乏有效的反演算法，来定量或半定量评价实际高反镜中各层的厚度误差和光学参数偏差等微结构缺陷信息。项目采取数学建模、算法开发、数据处理、缺陷镀膜等方法，结合激光陀螺高反镜实际镀膜经验，考虑可能的膜层缺陷，建立适合陀螺高反镜反演的数学模型；基于最优化策略，开发适合陀螺高反镜反演的快速可靠计算算法；考虑实际的薄膜测量误差，提出新的数据处理方法，减小测量误差对陀螺高反镜反演精度的影响；通过人为引入缺陷的高反镜镀膜实验，对上述数学模型、反演算法和数据处理方法进行实验验证。通过以上研究，为激光陀螺高反镜的日常镀膜提供定量或半定量缺陷反馈，为优化镀膜机控制参数、减小高反镜损耗提供方向指导，为其他类型光学薄膜的反演提供参考。

中文关键词： 激光陀螺高反镜；缺陷反演算法；膜层缺陷模型；极低损耗镀膜工艺；

英文摘要： Multilayer mirrors comprise the ring resonator of the ring laser gyro (RLG). The backscattering of these mirrors dominates the lock-in threshold of the RLG due to surface imperfections. Super-polishing process up-to-date has approached to solve the proble

英文关键词： Multilayer mirror of ring laser gyroscope；defects reverse characterization algorithms；layer defects model；ultra-low loss deposition technology；