高加速度下摆臂高频往复旋转高精定位控制研究

项目名称： 高加速度下摆臂高频往复旋转高精定位控制研究

项目编号： No.51375192

项目类型： 面上项目

立项/批准年度： 2013

项目学科： 机械、仪表工业

项目作者： 龚时华

作者单位： 华中科技大学

项目金额： 80万元

中文摘要： 旋转摆臂的定位控制问题一直是控制领域中的前沿热门课题，从控制工程的角度来看，旋转摆臂是一种具有非线性模型的负载；旋转摆臂的高加速度运动和精确定位是微电子和半导体制造的核心技术之一,同时也是航天航空机构、精密设备和机器人等高尖端技术领域的关键功能要求。本课题主要研究高加速度下摆臂的高频往复旋转精确定位控制理论和方法，包括：①高加速度下旋转摆臂的机械动力学特性，②基于高加速度往复旋转运动命令的转矩和速度的高频响应控制，③基于刚柔耦合负载的高精度扩展伺服算法，④基于外部激励的变阻尼主动抑振控制。通过本课题的研究，探索高加速度下旋转摆臂高频往复运动的动力学行为规律及其高频响应、高精度定位控制新策略、新方法，推动运动控制理论的发展，提升我国高端电子制造装备的核心竞争力。

中文关键词： 高加速度；旋转摆臂；高频往复；精确定位；运动控制

英文摘要： The position control of rotating arm is always the frontier hot research work in field of control, from control engineering point of view, rotating arm is a kind of load with nonlinear model. That, the high acceleration motion and the precise position of

英文关键词： high acceralation；rotating arm；high-frequency reciprocating；precise position；motion control