超低发散角倾斜光束单纵模人工微结构激光器研究

项目名称： 超低发散角倾斜光束单纵模人工微结构激光器研究

项目编号： No.61404133

项目类型： 青年科学基金项目

立项/批准年度： 2014

项目学科： 无线电电子学、电信技术

项目作者： 渠红伟

作者单位： 中国科学院半导体研究所

项目金额： 30万元

中文摘要： 低成本波长稳定的单纵模激光器广泛应用于光通信、泵浦、医疗、气体检测、光纤传感及光子集成等领域。针对传统单模DFB激光器、DBR激光器复杂光栅制备技术和二次外延生长技术以及片上光互连光源与Si基光栅高效耦合等问题，创新性提出一种超低发散角倾斜光束单纵模人工微结构激光器，在传统半导体激光器脊型波导上引入人工微结构进行纵模选择；同时利用人工微结构对光场调控机制形成斜向衬底的倾斜光束，实现超低垂直发散角; 该激光器只需一次外延和普通光刻技术即可实现超低发散角单模工作，制备工艺简单、低成本。本项目探索研究新型单纵模人工微结构激光器选模机理和光场调控机理，开展相关理论仿真、结构设计和工艺制备等，研制出垂直发散角<2度的超低发散角倾斜光束单纵模人工微结构激光器,适于未来光子集成。

中文关键词： 单纵模激光器；光子集成；超低发散角；人工微结构；

英文摘要： The low-cost stable-wavelength single longitudinal mode lasers are widely used in the areas of optical communications, pump, medical, gas detection, optical fiber sensing and photonic integration. To avoid complex grating preparation techniques and second

英文关键词： single mode laser；photonic integration；ultra-low divergence angle；artificial micro-structure；