项目名称: 半导体纳米线-金属电极界面原位合金化研究
项目编号: No.60976078
项目类型: 面上项目
立项/批准年度: 2010
项目学科: 自动化技术、计算机技术
项目作者: 王岩国
作者单位: 中国科学院物理研究所
项目金额: 48万元
中文摘要: 本项目针对半导体纳米线-金属电极界面原位合金化方面的基础性科学问题,以半导体纳米线-金属电极界面状态与电输运性能的相互关联为主要内容,利用电子显微学方法进行外加电场诱导半导体纳米线-金属电极界面原位合金化的研究,了解和掌握半导体纳米线-金属电极界面原位合金化的形成机理和微结构特性。探讨按照纳电子器件所要求的界面微结构设计和特定功能,开发半导体纳米线与金属电极界面合金化制备和微结构修饰技术。建立半导体纳米线-金属电极界面原位合金化与电子输运性能的内在联系,对半导体纳米线-金属界面原位合金化影响电输运性能做出基础性规律研究。借助当代先进纳米技术实现对半导体纳米线-金属电极界面原位合金化和微结构的设计、控制,揭示其内涵深刻的物理、化学过程和特殊效应,通过本项目的研究,为解决纳电子器件制备技术中的基础性问题作出贡献,进而为发展新型纳电子器件制备提供科学依据和可能的解决方案。
中文关键词: 半导体纳米线;界面合金化反应;电输运调控;欧姆结制备;原位表征
英文摘要:
英文关键词: semiconductor nanowire;interfacial alloying;control of electronic transpor;fabrication of Ohmic contact;in situ characterization