针对微机电系统的测试访问与测试优化方法研究

项目名称： 针对微机电系统的测试访问与测试优化方法研究

项目编号： No.61370044

项目类型： 面上项目

立项/批准年度： 2013

项目学科： 无线电电子学、电信技术

项目作者： 李佳

作者单位： 中国科学院微电子研究所

项目金额： 80万元

中文摘要： 随着片上集成技术的提高和物联网产业的迅速发展，微机电系统（MEMS）已迅速崛起为集成电路产业与研究界的新兴热点。由于MEMS通常由结构各异的传感器、模拟与数字电路部分构成，并且通常应用于航空、医药等对可靠性要求较高的领域，如何有效低成本的实现其测试并保证其可靠性已成为一个非常值得关注的问题。与传统的集成电路测试方法相比，针对MEMS的测试面临许多新的问题与挑战：其包含的传感器、模拟与数字电路部分具有不同的测试需求；多样化的传感器结构需要不同的测试访问方案；由于其通常无法利用量产测试的成本优势，需通过设计尽量降低其测试成本；为保证其工作时的可靠性，需提供片上检测功能等。已有研究往往无法有效解决以上问题，使MEMS测试与可靠性成为其产业发展的瓶颈。因此，本研究拟针对以上关键问题与挑战，设计并实现针对MEMS的测试访问机制与测试成本优化方案，从而实现提高MEMS可靠性并降低其生产成本的目的。

中文关键词： MEMS测试访问优化；MEMS内建自测试；MEMS内建自校准；MEMS测试激励生成；MEMS测试响应分析

英文摘要： As the progress of on-chip integration technology and the rapid development of the Internet of Things industry, Micro-Electro-Mechanical Systems (MEMS) has rapidly become an emerging hot spot of the industry and research community of Integrated Circuits (

英文关键词： MEMS test access optimization；MEMS Built-in Self-Test；MEMS Built-in Self-Calibration；MEMS test stimuli generation；MEMS test response analysis