激光掩膜微细电解加工机理研究

项目名称： 激光掩膜微细电解加工机理研究

项目编号： No.51375208

项目类型： 面上项目

立项/批准年度： 2013

项目学科： 机械、仪表工业

项目作者： 李小海

作者单位： 佳木斯大学

项目金额： 80万元

中文摘要： 微小型不锈钢零件的高效、高精度地加工是现代制造业的一个难题。本项目利用光纤脉冲激光器的优质光束可以在304不锈钢表面采用直写方式进行表面改性处理，生成具有抗腐蚀性的保护图案,再将激光表面改性技术与微细电解加工技术相结合，无须光刻掩膜，利用精密激光表面改性生成的具有耐腐蚀特性的表层图案作微细电解加工中的掩膜，通过微细电解加工，利用简单块电极就能生成复杂的二维结构，克服了微细激光加工中表面粗糙度大、有裂纹、产生热影响层等缺陷，也克服了采用超窄脉冲电解加工需要制作微细电极和加工效率低等难题。通过对微细激光表面改性不锈钢304过程中产生的相变、熔凝或激光表面合金化所生成的特殊表面层性能分析，研究该特殊表层在微细电解中起到掩膜作用的机理，利用有限元法建立激光导热模型，通过工艺试验，优化工艺参数，提高其抗腐蚀能力，实现激光掩膜化微细电解加工，尤其可经多次激光掩膜化处理，可以加工多层立体结构加工。

中文关键词： 电解加工；激光加工；掩膜；微细加工；

英文摘要： High efficiency and precision micromachining of stainless steel is a problem for modern manufacturing industry.The high-quality pulsed fiber laser quality beam can realize surface modification treatment on the 304 stainless steel surface by direct writing

英文关键词： electrochemical；laser machining；masking；micromachining；