大口径非球面及自由曲面面形误差及参数测量干涉仪研制

项目名称： 大口径非球面及自由曲面面形误差及参数测量干涉仪研制

项目编号： No.51327005

项目类型： 专项基金项目

立项/批准年度： 2013

项目学科： 机械、仪表工业

项目作者： 郝群

作者单位： 北京理工大学

项目金额： 300万元

中文摘要： 航空航天、天文以及激光核聚变等系统的发展实践表明，非球面及自由曲面的高精度、高分辨、高效率检测技术及仪器是光学元件制造和光学系统装校过程中亟待解决的关键问题。本项目前期研究提出了部分补偿原理与数字移相干涉技术相结合的非球面面形误差检测方法，有利于非球面的高精度检测。本次申请项目拟重点解决中大口径非球面及自由曲面面形误差及面形参数一体化检测相关技术问题。主要研究内容包括：新型部分补偿镜设计方法及补偿能力评估，面形误差数学描述方法，面形参数测量原理，系统标定、误差修订及仪器化方案研究等。研制一台大口径非球面及自由曲面检测仪，技术指标为：被测面口径（凸非球面）大于280mm，面形误差检测精度PV值优于λ/14，曲率半径测量相对精度1/10000；为我国中大口径非球面（尤其是凸非球面）、自由曲面的制造提供高精度的检测仪器，促进国防及科技领域相关技术的发展。

中文关键词： 非球面；自由曲面；部分补偿；数字移相；干涉仪

英文摘要： During the development practice of aerospace, astronomy and laser fusion system, the detection technology and instrument with high-precision, high-resolution and high-efficiency for aspherical and free-form surfaces are becoming the key problems to be sol

英文关键词： aspheric surface；freeform surface；partial compensation；digital phase-shifting；interferometer