基于可控柔度磨盘的中高频误差抑制研究

项目名称： 基于可控柔度磨盘的中高频误差抑制研究

项目编号： No.61378054

项目类型： 面上项目

立项/批准年度： 2013

项目学科： 无线电电子学、电信技术

项目作者： 万勇建

作者单位： 中国科学院光电技术研究所

项目金额： 73万元

中文摘要： 代表当今先进光学制造技术最高水平的大型天文望远镜、高功率激光和纳米光刻等极端光学系统的研制对光学元件面形误差提出了严格的要求。光学元件中高频面形误差直接影响光学系统的对比度和能量损失程度，中高频面形误差的抑制将是极端光学制造不可避免的难题。然而中高频误差的抑制和消除一直没有形成科学有效的方法，主要依赖于加工经验。本项目创新的采用将磨盘平滑效应和可控柔体抛光(磁流体抛光技术)结合的技术路线实现磨盘平滑效应的可控化，进行中高频误差抑制技术的研究。首先研究可控柔体磨盘柔度和平滑效应的可控变化机理，以及两者之间的内在联系；再次建立评价可控柔体磨盘平滑能力的平滑谱函数和平滑效率函数的数学模型，定量化的研究可控柔体磨盘固有的平滑效应；最后基于上述机理和数学模型研究可控柔体磨盘平滑效应的可控变化特性即磨盘平滑不同频段误差的能力，重点研究如何控制磨盘分频段抑制中高频误差。

中文关键词： 中高频误差；平滑效应；可控柔度；平滑谱函数；平滑效率

英文摘要： The development of extreme optical system known as large astronomical telescopes、high power laser and nano lithography that represents the advanced optical manufacturing makes stringent requirments on the surface figure of optical surface. The middle and

英文关键词： Middle and high spatial frequency errors；Smoothing effect；Controllable compliant；Smoothing spectral function；Smoothing efficiency