自由曲面光学零件的大气等离子体射流加工技术基础研究

项目名称： 自由曲面光学零件的大气等离子体射流加工技术基础研究

项目编号： No.51175123

项目类型： 面上项目

立项/批准年度： 2012

项目学科： 机械、仪表工业

项目作者： 王波

作者单位： 哈尔滨工业大学

项目金额： 60万元

中文摘要： 本课题针对超光滑自由曲面光学零件的高效、超光滑加工这一难题，提出了大气等离子体射流化学加工方法。这是一种新型的计算机控制光学表面成形（CCOS）技术，以类高斯分布的等离子体射流为加工工具，以其中的高密度、高能活性粒子与材料表面的原子发生物理、化学作用，实现高效的、原子级的材料去除，不存在传统机械加工中常见的表层及亚表层损伤问题，具有机械加工手段所无法比拟的优势。通过本项目研究，将揭示宏-纳超宽尺度范围内大气等离子体化学加工过程的物理及化学作用机制，研究并解决加工过程中的工艺可控性和可达性问题，利用经特殊设计的等离子体发生系统，突破常规的化学加工过程中存在的加工效率与表面质量矛盾的问题，首次将其应用于自由曲面光学零件的高效超光滑加工中。这将是我国先进光学零件加工领域的重要方法创新，有很高的社会和经济效益。

中文关键词： 大气等离子体；射流加工；自由曲面；损伤去除机理；工艺特征

英文摘要：

英文关键词： atmospheric pressure plasma jet；jet processing；free form；sub-surface damage removal mechanism；processing characteristic