硫系玻璃波导器件设计、制备及性能研究

项目名称： 硫系玻璃波导器件设计、制备及性能研究

项目编号： No.60978058

项目类型： 面上项目

立项/批准年度： 2010

项目学科： 自动化技术、计算机技术

项目作者： 徐铁峰

作者单位： 宁波大学

项目金额： 38万元

中文摘要： 硫系玻璃是为数不多的对红外波段透明的玻璃材料，在红外器件研究领域占有重要地位。由硫系玻璃材料制备的波导器件在气体成分及含量的检测、生物传感、中红外激光光源、全光器件及星际空间探测等领域具有广阔的应用前景。本项目拟全面开展全硫系波导（衬底与膜层材料均为硫系玻璃）的研究，主要内容包括单模脊型硫系玻璃波导结构参数设计、高性能衬底材料制备、波导膜层成膜特性研究、光刻刻蚀工艺探索、以及波导的传输与光谱特性分析等，以获得性能优良的全硫系波导并深入了解其特性。本项目的特色和意义体现在：提出了全硫系波导的研究方案，可很好的解决衬底与膜层的匹配问题；重点研究不含As等有毒成分的硫系波导，为硫系波导器件的安全应用和环境保护奠定了基础；自主研制各种组分的硫系玻璃材料，为波导的成膜特性研究提供了极大的灵活性，有利于实现衬底与膜层之间的最佳匹配。本项目的实施完成将为全硫系波导器件的开发和应用打下坚实的基础。

中文关键词： 硫系玻璃；非线性；脊型光波导；光器件；

英文摘要：

英文关键词： chalcogenide glass；nonlinearity；rib waveguide；optical device；