放电等离子体极紫外光刻光源关键物理及技术问题研究

项目名称： 放电等离子体极紫外光刻光源关键物理及技术问题研究

项目编号： No.60838005

项目类型： 重点项目

立项/批准年度： 2009

项目学科： 金属学与金属工艺

项目作者： 王骐

作者单位： 哈尔滨工业大学

项目金额： 200万元

中文摘要： Z箍缩放电等离子体极紫外(EUV)光源，巧妙地将惯性约束核聚变中获得高温、高密度等离子体的Z箍缩技术移植到小尺寸放电结构中，产生相同高温的等离子体所需放电电流大幅减少，降低了对放电装置的要求。这种光源具有结构简单紧凑、尺寸小、效率高、投资及运营成本低等特点，是能够应用于极紫外光刻、辐射计量、实验室研究等领域的一种可实用化的软X射线源。 极紫外光刻（13.5nm为工作波长）是下一代实现更小刻线（32nm以下）的光刻技术之一。本项目拟针对极紫外光刻研究一种小型、高效、稳定的Z箍缩放电EUV光源，重点是通过研究Z箍缩高温高密度等离子体产生13.5nm强辐射的物理机制，在优化装置设计、提高转换效率、有效冷却电极，减少碎片产生及提高稳定性上探索新方法、新技术，为国内开展极紫外光刻及辐射计量等相关研究所需的高功率、低碎屑、可连续工作的EUV光源解决关键物理及技术问题。

中文关键词： EUV光源；毛细管放电；高重复频率电源；EUV收集镜；

英文摘要：

英文关键词： EUV source；Capillary discharge；High frequency power；EUV collector；