集成亚波长光栅的新型垂直腔面发射激光器的研究

项目名称： 集成亚波长光栅的新型垂直腔面发射激光器的研究

项目编号： No.60906027

项目类型： 青年科学基金项目

立项/批准年度： 2010

项目学科： 电工技术

项目作者： 王青

作者单位： 中国科学院半导体研究所

项目金额： 24万元

中文摘要： 垂直腔面发射激光器(VCSEL)以其独特优异的性能有望成为新一代的半导体激光光源。传统的VCSEL基本都采用DBR作为反射镜。为了达到所要求的极高反射率(>99%)，有时需要生长多达25-40对DBR。然而，理论分析表明，单层亚波长光栅(厚度0.2um-0.4um)的反射率就可以达到99%以上，若采用亚波长光栅取代传统的DBR，则有望能够大大的改善VCSEL的性能。集成亚波长光栅的VCSEL在国际上还属于新兴研究领域，特别是亚波长光栅对VCSEL的相位特性的影响还缺少理论分析。本课题拟建立一套模拟亚波长光栅的CAD程序，使之不但能够计算光栅的反射率，而且能够准确的计算光栅的反射相移；实验上探索各种方法制备亚波长光栅，并不断地改进器件制备工艺，制作出高性能的器件。该课题的研究不但能使我们在VCSEL领域与世界领先水平保持同步，而且对于研发含亚波长光栅的新型光电子器件也有着重大意义。

中文关键词： 亚波长光栅；偏振；垂直腔面发射激光器；聚焦；波前相位

英文摘要：

英文关键词： sub-wavelength grating；polarization；VCSEL；focus；wavefront phase