飞秒激光近场虚拟光探针纳尺度加工技术研究

项目名称： 飞秒激光近场虚拟光探针纳尺度加工技术研究

项目编号： No.50975128

项目类型： 面上项目

立项/批准年度： 2010

项目学科： 一般工业技术

项目作者： 高传玉

作者单位： 江苏大学

项目金额： 36万元

中文摘要： 本课题提出以一种高度融合飞秒激光、近场光学、虚拟光探针三种超高时空分辨技术，即飞秒激光近场虚拟光探针纳尺度加工技术，来实现纳米局域和大区域或大区域选择性高速纳米制造。我们计划通过本项目的研究，实现以下主要目标：1)建立一套飞秒激光器与近场光学、虚拟光探针相结合的全新纳米制造系统，利用它来完成至少50nm以下线宽的微纳加工；2)完成一套能够系统地对飞秒激光近场虚拟光探针光场分布特性分析设计的计算机软件系统，努力突破10nm以下纳结构制作；3)掌握虚拟光探针系统的加工方法，并加工出实用的虚拟光探针模板，使虚拟光探针近场微纳加工系统加工精度控制在50nm以下，而虚拟光探针的模板在距离样品250nm以上的区域，并能成功实现双光子纳米加工，在此基础上加工出具有一定功能的微纳器件。

中文关键词： 飞秒激光加工系统；近场光学；虚拟光探针；微纳器件；10nm线宽

英文摘要：

英文关键词： femtosecond laser；near-field optics；virtual light probe；micro-nano devices；10nm linewidth