基于高阶柔性探针的三维纳米测量与定位技术研究

项目名称： 基于高阶柔性探针的三维纳米测量与定位技术研究

项目编号： No.50975075

项目类型： 面上项目

立项/批准年度： 2010

项目学科： 一般工业技术

项目作者： 黄强先

作者单位： 合肥工业大学

项目金额： 39万元

中文摘要： 随着微机电系统(MEMS)的发展与应用，加工尺寸越来越小、几何形状越来越复杂，因而对其几何尺寸的测量即要求精度高、速度快，又要求实现真正的三维测量。本项目拟从微悬臂的高阶谐针原理出发，系统地建立一种新型高阶谐振三维纳米测量兼纳米定位方法，研制出高阶柔性、轻触模式的三维纳米测量与定位测头。在本项目实施过程中，首先通过理论建模和实验来研究高阶柔性探针在扫描速度、空间分辨率、抗干扰能力等方面的特性，实现高柔性探针的纳米测试；其次利用电火花加工法，研究一体化微测杆和微测球的加工技术，制备可用于三维定位、具有球形测头的一体化微探头；再次，将微探头与谐振悬臂结合，形成可实现三维测量与定位的纳米测头，同时研究该测头的三维测量与定位特性。通过本项目的实施，可望建立一国内外首创的高阶谐振探针测量技术及轻触模式三维纳米定位技术，并为扫描探针显微镜和纳米三座标测量机提供一种新的测头，满足MEMS器件测量需求。

中文关键词： 纳米测量；纳米定位；高阶谐振；扫描探针；

英文摘要：

英文关键词： Nano measurement；Nano positioning；High order resonant vibration；Scanning probe；