纳米结构几何参数广义成像椭偏测量理论与方法研究

项目名称： 纳米结构几何参数广义成像椭偏测量理论与方法研究

项目编号： No.51405172

项目类型： 青年科学基金项目

立项/批准年度： 2014

项目学科： 机械、仪表工业

项目作者： 陈修国

作者单位： 华中科技大学

项目金额： 25万元

中文摘要： 光学散射仪目前已经发展成为批量化纳米制造中纳米结构几何参数在线测量的一种重要手段。传统光学散射测量技术只能获得光斑照射区内待测参数的平均值，而对于小于光斑照射区内样品的微小变化难以准确分析。此外，由于其只能进行单点测试，必须要移动样品台进行扫描才能获得大面积区域内待测参数的分布信息，从而严重影响测试效率。为此，本项目提出开展纳米结构广义成像椭偏测量理论与方法的探索性研究。将充分利用广义成像椭偏仪所测得的成像Mueller矩阵中包含的丰富测量信息，着重研究并解决广义成像椭偏测量中的纳米结构快速光学特性建模、测量条件优化配置、几何参数鲁棒提取与不确定度评估等基础理论与关键技术问题，实现包括整个视场的大面积区域内纳米结构三维显微形貌的准确实时重构，为深入认识和解释基于广义成像椭偏仪的纳米结构测量提供理论基础，为批量化纳米制造中的在线工艺监控提供一种大面积、快速、低成本、非破坏性的精确测量新方法。

中文关键词： 纳米测量；纳米结构；广义成像椭偏仪；穆勒矩阵成像椭偏仪；关键尺寸

英文摘要： The optical scatterometry has currently become one of the important approaches for in-line metrology of geometric parameters of nanostructures in mass-production nanomanufacturing. Conventional scatterometry techniques can only obtain the mean geometric p

英文关键词： Nanometrology；Nanostructure；Generalized imaging ellipsometry；Mueller matrix imaging ellipsometry；critical dimension