氮氧化硅/聚合物混合集成低功耗全内反射型热光开关的研究

项目名称： 氮氧化硅/聚合物混合集成低功耗全内反射型热光开关的研究

项目编号： No.61177054

项目类型： 面上项目

立项/批准年度： 2012

项目学科： 信息四处

项目作者： 陈开鑫

作者单位： 电子科技大学

项目金额： 68万元

中文摘要： 全内反射光开关因结构简单，易于制作、操控和潜在的低成本而受到广泛重视。过去的数十年里，人们已经从材料及器件设计两方面探索研究了多种全内反射光开关的实验室原型器件，然而这些器件都还不能满足应用的要求。本研究项目将要进行的氮氧化硅/聚合物混合集成低功耗全内反射热光开关将通过在无机氮氧化硅（SiON）的光波导结构上嵌入有机聚合物材料来实现。这种混合集成结构可以充分利用氮氧化硅与聚合物材料完全相反的热光效应特征，提高全反射区的热利用效率，从而可以在同样的功率消耗下实现更大的折射率差，进而实现低功耗下的全反射。与采用单一材料的结构相比，这一混合集成结构对于降低开关的功耗，提高开关速度从而实现较大规模的开关矩阵具有重要意义。该项目还有利于探索无机/有机材料混合集成的光电子器件的设计与制作工艺，而目前还未见此类充分利用氮氧化硅与聚合物材料的折射率不同的温度效应的光波导器件的研究报道。

中文关键词： 光开关；集成光波导；全内反射；热光效应；

英文摘要：

英文关键词： optical switch；integrated optical waveguide；total internal reflection；thermo-optic effect；