基于驻波网格的陷光微结构离子泡加工理论和方法研究

项目名称： 基于驻波网格的陷光微结构离子泡加工理论和方法研究

项目编号： No.51175134

项目类型： 面上项目

立项/批准年度： 2012

项目学科： 机械工程学科

项目作者： 吴立群

作者单位： 杭州电子科技大学

项目金额： 60万元

中文摘要： 太阳能利用关乎能源危机解决，而光电转化效率低已成为光伏技术发展的主要瓶颈。陷光微结构是光伏电池的"光吸收器'，主流工艺是以HF为核心的湿法加工，它存在自催化、过程不可控以及结构简单等问题，严重影响光吸收效率。该项目以多晶硅陷光微结构加工理论和方法为研究对象，在湿法工艺基础上，提出"驻波网格"控制离子、离子泡加工思想，优化湿法加工原理。通过施加两组正交超声波，建立平面驻波，形成由波节组成的网格，控制离子运动；通过声空化电效应和湿法加工固有特性，空化激发网格上离子，建立带电场离子泡；施加第三维垂直超声波，受加工过程中渐次出现的周期性结构非线性调制，产生倍周期分岔现象，形成混沌性网格，从而提高高级陷光微结构可制造性。创新点在于利用机械振动、物理驻波和声空化效应，把原本一个个杂乱无章的离子"网格"成一个个大小和运动可控的高能离子泡，把驻波图案映射成高吸收率的陷光微结构，建立网格化加工理论和方法。

中文关键词： 太阳能；多晶硅；陷光微结构；超声；分形

英文摘要：

英文关键词： solar energy；mc silicon；microstructure；ultrasonic；fractal