纳米工艺下集成电路自动布线算法研究

项目名称： 纳米工艺下集成电路自动布线算法研究

项目编号： No.60976035

项目类型： 面上项目

立项/批准年度： 2010

项目学科： 自动化技术、计算机技术

项目作者： 蔡懿慈

作者单位： 清华大学

项目金额： 36万元

中文摘要： 随着集成电路工艺进入纳米阶段，集成电路设计和制造遇到了成品率降低的巨大挑战。本课题重点研究和探讨纳米工艺下集成电路设计中的复杂物理效应问题，研究面向制造的自动布线算法，内容有： 1、研究考虑参数变化的互连线的计算与建模，包括考虑工艺影响的线宽度和高度变化、考虑工作参数变化，如工作电压和温度变化影响的时延计算模型。 2、研究面向可制造性设计的总体布线、布线资源分配和详细布线算法，包括在布线过程中考虑关键区域CA的详细布线算法、考虑冗余通孔RV添加的总体布线和详细布线算法、考虑光学邻近效应OPE的详细布线算法、考虑化学机械抛光CMP的布线算法和布线资源分配算法。3、研究成品率驱动的互连线优化方法，考虑工艺制造及纳米物理效应对互连线时延和信号完整性的影响。课题目标是在布线过程中考虑工艺及制造的影响，提高纳米工艺下集成电路设计的可制造性和成品率。

中文关键词： 布线；成品率；可制造性；纳米工艺；物理设计

英文摘要：

英文关键词： routing；yield；manufacturability；nano-technology；physical design