SOI基透明电极栅控横向PIN蓝紫光探测器研究

项目名称： SOI基透明电极栅控横向PIN蓝紫光探测器研究

项目编号： No.61404011

项目类型： 青年科学基金项目

立项/批准年度： 2014

项目学科： 无线电电子学、电信技术

项目作者： 谢海情

作者单位： 长沙理工大学

项目金额： 23万元

中文摘要： 暗电流、量子效率与频率响应之间的矛盾、以及输入阻抗是制约光探测器性能和可集成性的主要因素。为提高蓝紫光探测器的性能和可集成性，我们提出SOI基LPIN PD-GTE（透明电极栅控横向PIN光电二极管）结构。在LPIN PD-GTE中，横向PIN结构和纵向MOS结构，以及透明电极的栅控作用，能有效地消除沟道长度限制，解决量子效率和频率响应之间的矛盾，降低暗电流，提高输入阻抗。通过模型构建和软件模拟，理论研究蓝紫光范围内LPIN PD-GTE的光电特性和频率响应，探索栅极电压和沟道长度对光电特性与频率响应的影响规律，得到蓝紫光探测性能最优化的栅极电压和沟道长度。根据理论研究结果，采用最优工艺参数制备ITO薄膜作为栅电极，试制LPIN PD-GTE，完成测试与优化，实现高灵敏度、大量子效率、快频率响应，且可光电集成的蓝紫光探测器，并建立其理论研究体系。

中文关键词： 蓝紫光探测器；解析模型；光电特性；频率响应；正交试验分析法

英文摘要： In photodetectors, performance and compatibility for integration are mainly constrained by dark current, the conflict between quantum efficiency and frequency response, and input impedance. In order to improve the performance and compatibility for integra

英文关键词： Blue-violet photodetector；Analytical Model；Photoelectronic Characteristics；Frequency Response；Orthogonal experimental analysis