铟镓锌氧化物（IGZO）靶材烧结行为的原位测量与致密化机理研究

项目名称： 铟镓锌氧化物（IGZO）靶材烧结行为的原位测量与致密化机理研究

项目编号： No.51372093

项目类型： 面上项目

立项/批准年度： 2013

项目学科： 一般工业技术

项目作者： 李晨辉

作者单位： 华中科技大学

项目金额： 80万元

中文摘要： 针对IGZO靶材常压烧结难以达到超高密度（相对密度>99.5%理论密度）的问题，本研究拟通过改进现有影像式烧结仪，原位测量IGZO靶材在常压下的烧结致密化行为；探讨粉体性能（粒度、比表面、物相、装填密度等）、成形和脱蜡工艺（冷等静压、注浆、成形剂含量与脱除速度等）、素坯性能（相对密度、孔隙分布，成分分布等）、烧结气氛（氧含量、气氛流速、气氛切换时间等）和烧结工艺（温度、时间、升降温速度、两步烧结等）等因素对IGZO靶材致密化速率、最终烧结体密度、物理、力学性能、孔隙分布和组织结构等的影响，发现影响IGZO致密化的关键因素；然后结合现有通用的致密化理论和模型，从烧结驱动力、烧结动力学和缺陷化学等方面对IGZO靶材致密化机理进行全方位的探讨，阐明IGZO靶材的烧结致密化机理；在此基础上建立一个比较可靠的IGZO烧结致密化模型，为工业上常压烧结制备超高密度IGZO靶材提供理论指导和工艺参考。

中文关键词： 铟镓锌氧化物；烧结；原位测量；致密化；

英文摘要： Regarding the problem of the IGZO target material in atmospheric pressure sintering is difficult to achieve ultrahigh density (relative density > 99.5%), we will have an situ measurement on the sintering densification behavior of IGZO target in atmospheri

英文关键词： IGZO；sintering；in situ measurement；densification；