三维微电极叠层拟合制备及其质量控制与成形磨削

项目名称： 三维微电极叠层拟合制备及其质量控制与成形磨削

项目编号： No.51405306

项目类型： 青年科学基金项目

立项/批准年度： 2014

项目学科： 机械、仪表工业

项目作者： 徐斌

作者单位： 深圳大学

项目金额： 25万元

中文摘要： 本项目首次提出一种用于微细电火花加工的三维微电极制备方法。该方法通过线切割分别完成多层铜箔二维微结构的加工，再利用热扩散焊将多层铜箔二维微结构叠加拟合成三维微电极。与目前主流的微细电极逐层扫描放电加工三维微型腔的工作方式相比，三维微电极只需进行上下往返式加工，工作效率高且损耗低，可完成大深宽比三维微型腔的电火花加工。 针对台阶效应和热扩散焊质量分别是影响叠层微电极制备精度和加工微型腔产生接缝放电痕缺陷的关键因素，提出通过电火花成形磨削来消减三维叠层微电极台阶效应和在铜箔上下表面溅射锡膜以大幅提高热扩散焊质量。针对上述关键科学问题，本项目将聚焦研究电火花成形磨削过程中台阶损耗规律的定量表征和热扩散焊后锡相与铜锡合金化合物沿铜箔厚度方向的分布规律及其对放电加工性能的影响，从而可以从根本上提高三维叠层微电极的制备精度和质量。本项目的研究将开拓一种全新的电火花三维微电极制备方法和研究领域。

中文关键词： 三维微电极；微细电火花加工；三维微模具；线切割；真空压力热扩散焊

英文摘要： The project proposes a novel method for fabricating 3D micro electrode which is used in micro EDM. In this method, wire cutting is used to fabricate the 2D copper microstructure and thermal diffusion weld is used to complete the connection of multilayer 2

英文关键词： 3D micro-electrode；Micro-EDM；3D micro-cavity mold；WEDM；Vacuum pressure thermal diffusion welding